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申请/专利权人：苏州华星光电技术有限公司
申请日：2021-12-15
公开（公告）日：2022-07-08
公开（公告）号：CN216913497U
专利技术分类：
专利摘要：本申请公开了一种支撑平台和支撑系统，其中所述支撑平台包括基台和设置在所述基台上的多个喷气嘴，所述喷气嘴能够对所述基板喷射气体，以使所述基板相对所述喷气嘴悬浮；其中每一所述喷气嘴的上端面为向上凸出的平滑曲面。本申请所述支撑平台和支撑系统确保喷气嘴的功能提前下，减少基板与上端面的接触面积，从而避免划伤产品。
专利权项：1.一种支撑平台，用于悬浮支撑一基板，其特征在于，包括：基台；以及，多个喷气嘴，设置于所述基台上，用来喷射能用于所述悬浮支撑的气体；其中每一所述喷气嘴的上端面为向上凸出的平滑曲面。
百度查询： 苏州华星光电技术有限公司 支撑平台以及支撑系统
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