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一种基于ITP成像的接近式步进器 

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申请/专利权人:江苏微影半导体有限公司

摘要:本发明提供一种基于ITP成像的接近式步进器,包括横板,所述横板一端固定连接有竖向布置的第一支板,所述横板另一端固定连接有竖向布置的第二支板,所述第一支板与第二支板之间转动安装有与横板平行布置的丝杆,所述丝杆上螺纹连接有用于安装ITP成像设备的滑座,所述第一支板与第二支板之间安装有与丝杆平行布置的螺纹杆,所述螺纹杆上套设有两个支座,所述支座的两侧均设有用于限制支座与螺纹杆相对位置的螺母,所述载板竖直部安装有可拆卸的用于控制步进电机正转和反转的接近开关,本发明具有如下的有益效果:实现根据产品的尺寸调整两个接近开关的间距,避免出现ITP成像设备移动至超出产品尺寸范围以外或产品未被完全采集图像的情况。

主权项:1.一种基于ITP成像的接近式步进器,包括横板1,其特征在于:所述横板1一端固定连接有竖向布置的第一支板6,所述横板1另一端固定连接有竖向布置的第二支板11,所述第一支板6与第二支板11之间转动安装有与横板1平行布置的丝杆8,所述丝杆8一端与步进电机2输出端固定连接,所述步进电机2安装在第二支板11背离第一支板6的一面,所述丝杆8上螺纹连接有用于安装ITP成像设备的滑座9,所述滑座9为矩形体结构且滑座9上表面与横板1下表面相贴合,所述第一支板6与第二支板11之间安装有与丝杆8平行布置的螺纹杆7,所述螺纹杆7上套设有两个支座12,所述支座12一面开设有穿插孔15,所述螺纹杆7贯穿穿插孔15,所述支座12的两侧均设有用于限制支座12与螺纹杆7相对位置的螺母13,所述螺母13螺纹连接在螺纹杆7上,所述支座12固定在载板14水平部上表面,所述载板14为L型结构,所述载板14竖直部安装有可拆卸的用于控制步进电机2正转和反转的接近开关10。

全文数据:

权利要求:

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