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申请/专利权人：广州立景创新科技有限公司
申请日：2020-09-28
公开（公告）日：2022-04-22
公开（公告）号：CN112325784B
专利技术分类：.用于计量固体的变形，例如光学应变仪[2006.01]
专利摘要：一种翘曲检测方法，通过翘曲检测设备检测待测物的表面。所述方法包含：驱动干涉组件与载台沿Z轴方向彼此相对移动，供实时输出对应于所述表面的多组干涉条纹，其中载台平面相对于水平面呈锐角；计算出多组干涉条纹的多个条纹对比度值，并找出所述干涉组件的初始Z轴位置；驱动所述干涉组件的干涉物镜自所述初始Z轴位置沿Z轴方向移动，供实时输出对应于多个表面区域的所述多组干涉条纹；以及，获取所述干涉物镜的多个位移数据，据以计算出所述待测物的翘曲度数据。
专利权项：1.一种翘曲检测方法，通过翘曲检测设备检测待测物的表面，所述表面具有不同高度的多个表面区域，所述翘曲检测设备包含干涉感测装置、演算装置及用于固持所述待测物的载台，所述干涉感测装置包含白光光源组件、分光元件、干涉组件及感光组件，该感光组件包含多个感测区域，其特征在于，所述翘曲检测方法包含：驱动所述干涉组件与所述载台沿Z轴方向彼此相对移动，供所述感光组件输出各该感测区域所分别对应于所述多个表面的多组干涉条纹，其中所述Z轴方向垂直于水平面，所述载台具有载台平面，且所述载台平面相对于所述水平面呈锐角；所述演算装置计算出所述多组干涉条纹的多个条纹对比度值，并找出所述干涉组件与各该感测区域内具有最大的所述条纹对比度值的所述干涉条纹相对应的初始Z轴位置；驱动所述干涉组件的干涉物镜自所述初始Z轴位置沿所述Z轴方向移动，供所述感光组件输出对应于所述多个表面区域的所述多组干涉条纹；以及所述演算装置获取所述干涉物镜与所述多个表面区域的多个零光程位置相对应的多个位移数据，据以计算出所述待测物的翘曲度数据。
百度查询： 广州立景创新科技有限公司 翘曲检测方法
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