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申请/专利权人：株式会社岛津制作所
申请日：2021-04-08
公开（公告）日：2022-04-12
公开（公告）号：CN114322558A
专利技术分类：
专利摘要：本发明提供一种可在适当的时间内进行脱脂的脱脂炉及脱脂方法。脱脂炉10包括：炉主体14，收容被脱脂物12；对所述炉主体14供给的惰性气体的气体源16；加热装置30，对所述惰性气体进行加热；以及气体监视器18，对自所述被脱脂物12产生的气体进行检测。脱脂方法包括：在炉主体14收纳被脱脂物12的工序；使惰性气体升温的工序；利用所述升温后的惰性气体对被脱脂物12进行脱脂的工序；以及利用气体监视器18对自所述被脱脂物12产生的气体进行检测的工序。
专利权项：1.一种脱脂炉，包括：炉主体，收容被脱脂物并进行脱脂；以及气体监视器，对自所述被脱脂物产生的气体进行检测。
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