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一种CuI/ZTO异质结紫外探测器及其制备方法 

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申请/专利权人:浙江大学;浙江大学温州研究院

摘要:本发明公开了一种CuIZTO异质结紫外探测器及其制备方法,该紫外探测器自下而上依次有ITO导电玻璃、ZnSnOZTO层、CuI层,其中ITO导电玻璃和CuI层上制备有Au电极。其制备方法如下:先采用脉冲激光沉积PLD方法在ITO导电玻璃上制备ZTO薄膜,然后将配置好的CuI前驱体溶液旋涂在ZTO薄膜上,旋涂数次并退火,再用电子束蒸发在CuI和ITO表面镀上Au作为电极,完成紫外探测器的制备。相比于传统的紫外探测器,此方法制备的紫外探测器能在零偏压下实现高开关比和高响应速度,且结构简单、制备成本低,在军事、民用以及一些特殊领域有重要的应用价值。

主权项:1.一种CuIZTO异质结紫外探测器,其特征在于:包括依次叠置的ITO衬底1、ZTO层2、CuI层3,所述ITO衬底和CuI层上制备有电极4。

全文数据:

权利要求:

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