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激光扫描观察装置和激光扫描方法专利

发布时间:2019-03-12 13:54:31 来源:龙图腾网 导航: 龙图腾网> 最新专利技术> 激光扫描观察装置和激光扫描方法

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申请/专利权人:索尼公司

申请日:2014-03-28

公开(公告)日:2015-11-11

公开(公告)号:CN105050475A

专利技术分类:

专利摘要:提供了一种激光扫描观察装置,包括:窗口单元,设置在壳体的一区域中并被配置为接触或接近观察目标;物镜,被配置为通过窗口单元将激光聚集在观察目标上;光路改变元件,被配置为朝向所述窗口单元改变在所述壳体内被引导的激光的行进方向;像散校正元件,设置在所述窗口单元的前方基台并被配置为校正当激光聚集在观察目标上时发生的像散;和转动机构,被配置为使至少所述光路改变元件绕垂直于窗口单元上的激光的入射方向的转动轴转动以利用激光扫描观察目标。象散校正元件以对应于由观察深度的变化引起的像散的变化的校正量校正像散,观察深度是激光在观察目标上被聚集的位置的深度。

专利权项:一种激光扫描观察装置,包括:窗口单元,设置在壳体的部分区域中并被配置为接触或接近观察目标;物镜,被配置为通过所述窗口单元将激光聚集在所述观察目标上;光路改变元件,被配置为朝向所述窗口单元改变在所述壳体内被引导的所述激光的行进方向;像散校正元件,设置在所述窗口单元的前方基台并被配置为校正当所述激光聚集在所述观察目标上时发生的像散;以及转动机构,被配置为允许至少所述光路改变元件绕垂直于所述窗口单元上的所述激光的入射方向的转动轴转动以利用所述激光扫描所述观察目标,其中,所述像散校正元件以对应于由观察深度的变化引起的像散的变化的校正量校正所述像散,所述观察深度是所述激光在所述观察目标上被聚集的位置的测量深度。

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