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申请/专利权人：国立大学法人长冈技术科学大学;东京毅力科创株式会社
申请日：2008-11-21
公开（公告）日：2013-02-06
公开（公告）号：CN102912320A
专利技术分类：...输入反应室前的活化反应气流法，例如通过电离或加入活性组分[2006.01]
专利摘要：本发明公开的堆积装置具备：催化反应装置，含有：导入第1原料气体的导入部，和收容从所述导入部所导入的所述第1原料气体生成反应性气体的催化剂的、催化剂容器，和从所述催化剂容器喷出所述反应性气体的反应性气体喷出部；反应性气体分离器，容许从所述反应性气体喷出部喷出的所述反应性气体的流通；支持基板的基板支持部；和供给第2原料气体的供给部，所述第2原料气体与穿过所述反应性气体分离器的所述反应性气体反应，使膜堆积于所述基板。
专利权项：一种堆积装置，其特征在于，具备：催化反应装置，含有：导入第1原料气体的导入部，和收容从所述导入部所导入的所述第1原料气体生成反应性气体的催化剂的、催化剂容器，和从所述催化剂容器喷出所述反应性气体的反应性气体喷出部，所述反应性气体喷出部含有：内径沿着所述反应性气体的喷出方向变小的缩径部、和内径沿着所述喷出方向变大的扩径部；支持基板的基板支持部；以及供给第2原料气体的供给部，所述第2原料气体与从所述反应性气体喷出部喷出的所述反应性气体反应，使膜堆积于所述基板。
百度查询： 国立大学法人长冈技术科学大学 东京毅力科创株式会社 堆积装置和堆积方法
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