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申请/专利权人：三星显示有限公司
申请日：2013-06-18
公开（公告）日：2018-06-01
公开（公告）号：CN103972131B
专利技术分类：.专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置[2006.01]
专利摘要：提供一种结合装置和一种结合方法，所述结合装置包括：具有一个表面的支架，基板的至少一部分安置在所述一个表面上；将器件附接到所述基板的结合工具；和被安装在所述支架上以便清洁所述支架的所述一个表面的清洁组件。
专利权项：一种结合装置，包括：具有一个表面的支架，基板的至少一部分安置在所述一个表面上；将器件附接到所述基板的结合工具；和被安装在所述支架上以便清洁所述支架的所述一个表面的清洁组件，其中所述清洁组件在清洁的同时至少部分接触所述支架的所述一个表面，并且其中所述清洁组件在所述基板安置在所述支架上之前清洁所述支架的所述一个表面。
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