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申请/专利权人：NTN株式会社
申请日：2013-08-26
公开（公告）日：2018-03-20
公开（公告）号：CN103630542B
专利技术分类：..测试瑕疵、缺陷或污点的存在[2006.01]
专利摘要：本发明的缺陷检测装置包括：摄像头，该摄像头拍摄基板并输出电信号；以及图像处理装置，该图像处理装置中输入有由摄像头输出的电信号。图像处理装置使用从电信号中得到的多个信号各自的图像对比度中较大的对比度，来检测基板的缺陷部。由于使用多个信号各自的图像对比度中较大的对比度来检测缺陷部，因此即使对于在被区分为各信号之前的图像中与正常部之间的对比度较小的缺陷部，也能够检测出缺陷部，而不会使灵敏度显著降低。
专利权项：一种缺陷检测装置，包括：摄像头，该摄像头拍摄基板并输出电信号；以及图像处理装置，该图像处理装置中输入有由所述摄像头输出的电信号，所述图像处理装置使用从来自所述摄像头的电信号中得到的多个信号各自的图像对比度中较大的对比度，来检测所述基板的缺陷部，所述图像处理装置包括：图像比较部，该图像比较部比较所述图像中任意的检查对象位置上的像素的亮度、与从该检查对象位置起隔开了由所述基板的图案间距及所述像素的尺寸之比所决定的规定间距的位置即周边部位上的像素的亮度；以及缺陷提取部，该缺陷提取部使用利用所述图像比较部获得的所述亮度的比较结果，来提出所述缺陷部，所述图像比较部构成为：在所述周边部位上的像素的亮度、与所述周边部位上的像素的相邻或附近的像素的亮度之间的差分值大于规定阈值时，不执行所述比较。
百度查询： NTN株式会社 缺陷检测装置、缺陷修正装置及缺陷检测方法
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