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申请/专利权人:横河电机株式会社
申请日:2014-03-25
公开(公告)日:2016-08-24
公开(公告)号:CN104122014B
专利技术分类:.利用压电电阻材料的性质,即材料的欧姆电阻随作用于材料上的力的大小或方向的改变而变化的性质[2006.01]
专利摘要:本发明提供一种力检测元件和力转换元件。所述力检测元件具备金刚石基压电电阻,所述金刚石基压电电阻包含导入了作为杂质的硼的高取向性金刚石,所述金刚石基压电电阻的压电电阻系数的绝对值,大于将<100>方向作为主轴时的压电电阻系数π11或π12的绝对值。
专利权项:一种力检测元件,其特征在于,所述力检测元件具备金刚石基压电电阻,所述金刚石基压电电阻包含导入了作为杂质的硼的高取向性金刚石,所述金刚石基压电电阻的压电电阻系数的绝对值,大于将<100>方向作为主轴时的压电电阻系数π11或π12的绝对值。
百度查询: 横河电机株式会社 力检测元件和力转换元件
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