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申请/专利权人：理想能源设备有限公司
申请日：2010-12-02
公开（公告）日：2012-06-06
公开（公告）号：CN102487101A
专利技术分类：.专门适用于制造或处理这些器件或其部件的方法或设备[2006.01]
专利摘要：本发明提供了一种预处理装置及其预处理方法，所述预处理装置包括：处理腔，设置于所述处理腔内用于承载待加热工件的基座；与所述待加热工件相对设置并位于所述待加热工件上方的第一加热单元；设置于基座周围的补偿加热单元，用于补偿加热所述待加热工件的边缘区域。本发明中设置于基座周围的补偿加热单元，具有高度的指向性，可以用于补偿加热待加热工件的边缘区域，从而改善待加热工件表面各处的加热均匀性。
专利权项：一种预处理装置，其特征在于，包括：处理腔，设置于所述处理腔内用于承载待加热工件的基座；与所述待加热工件相对设置并位于所述待加热工件上方的第一加热单元；设置于基座周围的补偿加热单元，用于补偿加热所述待加热工件的边缘区域。
百度查询： 理想能源设备有限公司 预处理装置及其预处理方法
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