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申请/专利权人：鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司
申请日：2004-03-20
公开（公告）日：2010-05-05
公开（公告）号：CN1670244B
专利技术分类：..仅沉积碳[2006.01]
专利摘要：本发明涉及一种气体混合配制装置，特别涉及一种用于化学气相沉积法生长碳纳米管的气体配制装置。本发明所提供的气体配制系统包括多个气体源，其分别提供不同气体；多个气体流量计，其一端分别通过导气管与各气体源相连，以控制各气体的流量；一气体混合腔，其具有多个入口及一出口，该多个气体流量计的另一端通过导气管与该气体混合腔的各入口相连通；以及一气体分析仪，通过导气管与气体混合腔的出口相连，其能测得气体混合腔内混合气体各组分的浓度；其中，各气体源提供的气体经由导气管，通过气体流量计进入混合腔混合均匀，再通过气体分析仪检测混合腔内混合气体的组分浓度，调节气体流量计，可将混合气体的组分浓度控制在预定范围内。另外，本发明还提供采用上述气体配制装置的气体配制方法。
专利权项：一种气体配制装置，其包括多个气体源和多个气体流量计，该多个气体源分别提供不同气体，该多个气体流量计的一端分别通过导气管与各气体源相连，以控制各气体的流量；其特征在于：该气体配制装置还包括一气体混合腔及一气体分析仪；该气体混合腔具有多个入口及一出口，该多个气体流量计的另一端通过导气管与该气体混合腔的各入口相连通，该气体分析仪通过导气管与该气体混合腔的出口相连通，该气体分析仪能测得气体混合腔内混合气体各组分的浓度。
百度查询： 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 鸿海精密工业股份有限公司 气体配制系统及其气体配制方法
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