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申请/专利权人:鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司
申请日:2004-03-20
公开(公告)日:2005-09-21
公开(公告)号:CN1670244A
专利技术分类:..仅沉积碳[2006.01]
专利摘要:本发明涉及一种气体混合配制系统,特别涉及一种用于化学气相沉积法生长碳纳米管的气体配制系统。本发明所提供的气体配制系统包括多个气体源,其可分别提供不同气体;多个气体流量计,其分别通过导气管与各气体源相连,以控制各气体的流量;一气体混合腔,通过导气管与该多个气体流量计相连通;以及一气体分析仪,通过导气管与气体混合腔相连,其可测得气体混合腔内混合气体各组分的浓度;其中,各气体源提供的气体经由导气管,通过气体流量计进入混合腔混合均匀,再通过气体分析仪检测混合腔内混合气体的组分浓度,调节气体流量计,可将混合气体的组分浓度控制在预定范围内。另外,本发明还提供采用上述气体配制装置的气体配制方法。
专利权项:1.一种气体配制系统,其包括多个气体源和多个气体流量计,该多个气体源可分别提供不同气体,该多个气体流量计分别通过导气管与各气体源相连,以控制各气体的流量;其特征在于:该气体配制系统还包括一气体混合腔及一气体分析仪;该气体混合腔通过导气管与上述多个气体流量计相连通,该气体分析仪可测得气体混合腔内混合气体各组分的浓度,其通过导气管与气体混合腔相连通。
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