一种基于In合金的贵金属纳米颗粒及其制备方法
专利号：2017112862351已下证
申请日：
2017-12-07
发布日期：2024-11-01
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专利摘要
本发明公开了一种基于In合金的贵金属纳米颗粒及其制备方法，该制备方法的特征是在贵金属纳米颗粒的制备中使用了In合金共熔固态结晶的生长方式和热升华解元In组分的两步加工工艺，本发明旨在利用In的低熔点和低表面扩散活化能，降低贵金属纳米颗粒的制备温度，拓宽基于物理气相淀积的贵金属纳米颗粒的应用范围。该方法的优点在于，能够将贵金属纳米颗粒的制备温度降低50～300℃，并通过控制In在合金中的比例，调节贵金属纳米颗粒的大小和密度，简单高效，能够集成于半导体器件的加工工艺之中。
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