一种用于集成电路精密加工设备的动态电压恢复器系统
专利号:202011190698X已下证
申请日:
2020-10-30
发布日期:2024-10-19
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专利摘要
本发明公开了一种用于集成电路精密加工设备的动态电压恢复器系统,所述系统包括:多个电压传感器、多个动态电压恢复器、比例谐振闭环控制器、数据存储模块以及协议转换单元,多个电压传感器分别用于测量目标设备中多个敏感负荷侧的电压信号;比例谐振闭环控制器分别接收各个敏感负荷侧的电压信号并基于闭环控制生成补偿信号;多个动态电压恢复器分别接收所述比例谐振闭环控制器生成的补偿信号,并基于所述补偿信号输出相应的动态电压至所述供电网络。
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开户行:中国工商银行合肥高新技术开发区支行
收款方:龙图腾网科技(合肥)股份有限公司
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