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恭喜广东省大湾区集成电路与系统应用研究院张骥老师一件发明专利完成成果转化

发表时间:2024年11月21日 来源:龙图腾

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龙图腾网恭喜广东省大湾区集成电路与系统应用研究院申请的专利一种背栅调制器件及其制备方法、存储器、逻辑器件成功实施成果转化。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2022-01-11发布的专利公告中获悉:该专利的专利申请号/专利号为:2021111764752,技术领域属于H01L29/78(20060101);该专利一种背栅调制器件及其制备方法、存储器、逻辑器件是由广东省大湾区集成电路与系统应用研究院设计研发完成,并于2021-10-09向国家知识产权局提交的专利申请。

本发明提供了一种背栅调制器件及其制备方法、存储器、逻辑器件,其中背栅调制器件可包括但不限于硅衬底、ONO层、单晶硅层、栅极、第一侧墙、第二侧墙、第一源漏极及第二源漏极。ONO层填充于硅衬底上形成的空腔内,单晶硅层形成于ONO层上,栅极形成于单晶硅层上,第一侧墙环绕在栅极的侧壁周围,设置于单晶硅层上,第二侧墙环绕在第一侧墙的侧壁周围,设置于单晶硅层上;第一源漏极设置于硅衬底上,处于单晶硅层的一旁侧;第二源漏极设置于硅衬底上,处于单晶硅层的另一旁侧。本发明能够根据实际需要通过牺牲层和衬底的厚度灵活地控制单晶硅层和ONO结构的厚度,从而最大程度地发挥出背栅调制器件的性能,并能够有效降低器件成本。

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法律声明:当前页面专利信息仅供研究,该信息不具备任何法律效应。实际以国家专利局为准。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,欢迎咨询龙图腾网官方客服,联系电话0551-65771310 或微信搜索“龙图腾网”。

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