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当前位置: 首页 > 专利交易 > 恭喜太原理工大学周兵老师一件发明专利完成成果转化

恭喜太原理工大学周兵老师一件发明专利完成成果转化

发表时间:2023年11月11日 来源:龙图腾

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龙图腾网恭喜太原理工大学申请的专利一种同质/异质混合外延生长大尺寸单晶金刚石的制备方法成功实施成果转化。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2021-12-10发布的专利公告中获悉:该专利的专利申请号/专利号为:2021110752368,技术领域属于C30B25/18(20060101);该专利一种同质/异质混合外延生长大尺寸单晶金刚石的制备方法是由太原理工大学设计研发完成,并于2021-09-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本发明公开了一种同质/异质混合外延生长大尺寸单晶金刚石的制备方法,首先将小尺寸单晶金刚石晶种边缘研磨抛光成平直表面;根据单晶金刚石晶种尺寸对氧化钇稳定氧化锆(YSZ)单晶晶片表面刻蚀处理,形成具有凹槽和边框的YSZ单晶晶片衬底,将单晶金刚石晶种放入YSZ单晶晶片衬底槽内,在该衬底表面外延生长YSZ单晶薄膜缓冲层;将YSZ单晶薄膜减薄抛光至平整表面并显露出镶嵌单晶金刚石晶种和YSZ边框的复合衬底模板;在复合衬底表面外延生长一层铱单晶薄膜,并对铱薄膜处理以形成栅格化复合衬底;最后在栅格化复合衬底表面外延生长单晶金刚石。该方法对降低外延缺陷和界面失配,提高大尺寸单晶金刚石的外延生长质量具有显著意义。

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法律声明:当前页面专利信息仅供研究,该信息不具备任何法律效应。实际以国家专利局为准。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,欢迎咨询龙图腾网官方客服,联系电话0551-65771310 或微信搜索“龙图腾网”。

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