买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便! 龙图腾网恭喜许昌学院申请的专利一种电子器件用半导体晶片抛光设备成功实施成果转化。 龙图腾网通过国家知识产权局官网在2019-11-08发布的专利公告中获悉:该专利的专利申请号/专利号为:201910658872X,技术领域属于B24B37/00(20120101);该专利一种电子器件用半导体晶片抛光设备是由许昌学院设计研发完成,并于2019-07-19向国家知识产权局提交的专利申请。 本发明公开了一种电子器件用半导体晶片抛光设备,涉及半导体晶片加工技术领域,本发明通过设置磁致伸缩复合层,并将磁致伸缩复合层设置在弹性层与所述抛光层之间或者抛光层内,利用电磁控制机构对所述磁致伸缩复合层的伸缩变形进行控制,这样,可有效的实现对抛光垫的研磨效率和精度进行控制,并能够使得磁致伸缩复合层的变形随着所述抛光垫与晶片之间的相对转速的增高而变大,通过磁致伸缩复合层的变形来提高浆孔的通浆能力,提高对抛光垫的降温效果以及带走去除抛光碎屑的能力,保证晶片抛光质量,而转速降低时,可降低这种变形,使得抛光效率更高,孔隙更小,提高晶片表面的光滑度,降低孔隙过大对抛光晶片产生的不良影响。 龙图腾网(www.lotut.com)是知识产权全产业链服务平台,平台围绕知识产权代理、知识产权管理、商标查询、商标转让交易、专利检索、专利转让运营、科技成果转化等,通过“互联网+知识产权”的方式,整合资源与服务,为广大知识产权代理机构、科技咨询公司、律师事务所以及各类科技创新企业、科研院所、大专院校等,提供龙图腾商标专利检索分析平台、龙图腾知识产权管家、龙图腾知识产权交易平台等人工智能大数据云产品服务、知识产权服务、科技成果转移转化服务等。 如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,欢迎咨询龙图腾网官方客服,联系电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。 |