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买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！ 龙图腾网恭喜西安微电子技术研究所申请的专利一种晶圆级多层布线结构及其制备方法成功实施成果转化。 龙图腾网通过国家知识产权局官网在2020-09-29发布的专利公告中获悉：该专利的专利申请号/专利号为：2020105866805，技术领域属于H01L23/498(20060101)；该专利一种晶圆级多层布线结构及其制备方法是由西安微电子技术研究所设计研发完成，并于2020-06-24向国家知识产权局提交的专利申请。 本发明一种晶圆级多层布线结构，通过上层有机介质层包裹相邻下层的金属布线层和有机介质层，使有机介质层的边缘均固定在基底上，将原先第一层有机介质层和基底的交界面边缘所承受的工艺侵蚀和工艺攻击，分摊到各层有机介质层和基底的交界面边缘，极大的降低了有机介质层和基底的交界面边缘分层起皮的风险。一种晶圆级多层布线结构的制备方法，通过光刻版中的有机介质层图形边沿随有机介质层层数增高逐层外扩，使得随着多层金属布线结构制备过程的进行，各层有机介质层与基底的交界面边缘也在逐层外扩，制备成型的有机介质层将上一层有机介质层完全包裹在其内部。结构简单，能有效降低有机介质边缘分层起皮风险，降低工艺难度，提高工艺良率。 龙图腾网（www.lotut.com）是知识产权全产业链服务平台，平台围绕知识产权代理、知识产权管理、商标查询、商标转让交易、专利检索、专利转让运营、科技成果转化等，通过“互联网+知识产权”的方式，整合资源与服务，为广大知识产权代理机构、科技咨询公司、律师事务所以及各类科技创新企业、科研院所、大专院校等，提供龙图腾商标专利检索分析平台、龙图腾知识产权管家、龙图腾知识产权交易平台等人工智能大数据云产品服务、知识产权服务、科技成果转移转化服务等。 如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，欢迎咨询龙图腾网官方客服，联系电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。 |
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