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龙图腾网恭喜株式会社斯库林集团申请的专利衬底处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN110943015B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201910661491.7，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权衬底处理装置是由桑原丈二设计研发完成，并于2019-07-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本衬底处理装置在说明书摘要公布了：衬底处理装置具备第1搬送机构、第2搬送机构、中间搬送机构、第1中间部、第2中间部及控制部。中间搬送机构配置在第1搬送机构与第2搬送机构之间。第1中间部配置在第1搬送机构及中间搬送机构能够搬送衬底的第1重叠区域内。于第1中间部载置衬底。第2中间部配置在中间搬送机构及第2搬送机构能够搬送衬底的第2重叠区域内。于第2中间部载置衬底。按照控制部的控制，中间搬送机构反复执行循环动作。中间搬送机构的循环动作只由向第1中间部进出的第1进出动作及向第2中间部进出的第2进出动作构成。

本发明授权衬底处理装置在权利要求书中公布了：1.一种衬底处理装置，具备：第1搬送机构，搬送衬底；第2搬送机构，搬送衬底；中间搬送机构，配置在所述第1搬送机构与所述第2搬送机构之间，且搬送衬底；第1中间部，配置在所述第1搬送机构及所述中间搬送机构能够搬送衬底的第1重叠区域内，且供载置衬底；第2中间部，配置在所述中间搬送机构及所述第2搬送机构能够搬送衬底的第2重叠区域内，且供载置衬底；及控制部，控制所述第1搬送机构、所述第2搬送机构及所述中间搬送机构；且按照所述控制部的控制，所述中间搬送机构反复执行循环动作，所述中间搬送机构的所述循环动作只由向所述第1中间部进出的第1进出动作及向所述第2中间部进出的第2进出动作构成，所述第1搬送机构将衬底载置在所述第1中间部，所述第2搬送机构从所述第2中间部获取衬底，所述中间搬送机构的所述第1进出动作包含从所述第1中间部获取衬底的动作，所述中间搬送机构的所述第2进出动作包含将衬底载置在所述第2中间部的动作，通过所述中间搬送机构进行所述中间搬送机构的所述循环动作，所述中间搬送机构经由所述第1中间部从所述第1搬送机构承接衬底，并将衬底从所述第1中间部搬送到所述第2中间部，且经由所述第2中间部将衬底交付给所述第2搬送机构，所述中间搬送机构的所述第1进出动作不包含将衬底载置在所述第1中间部的动作，所述中间搬送机构的所述第2进出动作不包含从所述第2中间部获取衬底的动作，所述中间搬送机构不将衬底从所述第2中间部搬送到所述第1中间部。

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