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龙图腾网恭喜东京毅力科创株式会社申请的专利涂布膜去除装置、涂布膜去除方法以及存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN108364886B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-01-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201810074219.4，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权涂布膜去除装置、涂布膜去除方法以及存储介质是由桥本崇史;田所真任;永金拓;高栁康治设计研发完成，并于2018-01-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本涂布膜去除装置、涂布膜去除方法以及存储介质在说明书摘要公布了：本发明提供一种在利用去除液将作为基板的晶圆表面上形成的涂布膜的周缘部去除时抑制在涂布膜端部产生凸起隆起的涂布膜去除装置、涂布膜去除方法以及存储介质。在从去除液喷嘴3向通过旋转卡盘11而旋转的晶圆W的周缘部喷出去除液来去除涂布膜的周缘部的不需要的膜时，在使晶圆以2300rpm以上的第一转速进行旋转的状态下，使去除液的供给位置从周缘位置向比该周缘位置靠内方侧的切断位置移动。接着，在供给位置到达切断位置之后，使该供给位置在1秒以内从切断位置向晶圆的周缘侧移动。通过使晶圆以2300rpm以上这样大的转速进行旋转，来对晶圆表面的去除液的液流作用大的离心力，将去除液向晶圆的外侧推压。

本发明授权涂布膜去除装置、涂布膜去除方法以及存储介质在权利要求书中公布了：1.一种涂布膜去除装置，利用去除液将向圆形的基板的表面供给涂布液而形成的涂布膜的周缘部去除，该涂布膜去除装置的特征在于，具备：旋转保持部，其保持基板并进行旋转；去除液喷嘴，其将去除液以去除液朝向基板的旋转方向的下游侧的方式喷出到被所述旋转保持部保持的基板的表面的周缘部；以及控制部，其输出控制信号，以使得基板在喷出去除液时以2300rpm以上的转速进行旋转，所述控制部输出用于执行第一步骤和第二步骤的控制信号，其中，在所述第一步骤中，在使所述基板以2300rpm以上的第一转速进行旋转的状态下，一边使所述去除液的供给位置从基板的表面的周缘位置向比该周缘位置靠基板的中心部的涂布膜的切断位置移动，一边从该去除液喷嘴喷出去除液，在所述第二步骤中，在所述供给位置到达所述切断位置之后，使该供给位置在1秒以内从该切断位置向基板的周缘侧离开。

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