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龙图腾网恭喜深圳市镭煜科技有限公司申请的专利一种氩气管路及磁控溅射镀膜设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222332035U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-01-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420136230.X，技术领域涉及：C23C14/35；该实用新型一种氩气管路及磁控溅射镀膜设备是由罗能铁设计研发完成，并于2024-01-19向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种氩气管路及磁控溅射镀膜设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种氩气管路及磁控溅射镀膜设备，氩气管路包括氩气管和冷却管，所述氩气管上设置有若干出气口，所述冷却管内部设置有冷却腔，冷却管设置有与冷却腔连通的进液口和出液口，冷却管侧壁上沿其长度方向设置有放置槽，所述氩气管与所述放置槽的形状匹配，所述氩气管安装于所述放置槽中时二者形成一体式半圆柱状结构，且所述放置槽用于限制所述氩气管沿冷却管径向发生位移；磁控溅射镀膜设备包括真空镀膜腔室以及安装于所述真空镀膜腔室内的氩气管路。本实用新型将氩气管及冷却管的进液管道和出液管道集成为一体式半圆柱状结构，减少镀膜腔室内裸露的管道数量，从而极大地减少了镀膜过程中会被沉积金属的管面积，降低了清洁难度。

本实用新型一种氩气管路及磁控溅射镀膜设备在权利要求书中公布了：1.一种氩气管路，包括氩气管和冷却管，所述氩气管上设置有若干出气口，所述冷却管内部设置有冷却腔，冷却管设置有与冷却腔连通的进液口和出液口，其特征在于：所述冷却管侧壁上沿其长度方向设置有放置槽，所述氩气管与所述放置槽的形状匹配，所述氩气管安装于所述放置槽中时二者形成一体式半圆柱状结构，且所述放置槽用于限制所述氩气管沿冷却管径向发生位移。

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