恭喜隆基绿能科技股份有限公司杨龙获国家专利权
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龙图腾网恭喜隆基绿能科技股份有限公司申请的专利一种PECVD设备的石墨电极结构和PECVD设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222313301U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-01-07发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420109464.5，技术领域涉及：C23C16/50；该实用新型一种PECVD设备的石墨电极结构和PECVD设备是由杨龙;陈森;王晶;刘德茂;李广旭;张凯设计研发完成，并于2024-01-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种PECVD设备的石墨电极结构和PECVD设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开一种PECVD设备的石墨电极结构和PECVD设备，涉及太阳能电池技术领域。本实用新型实施例提供的PECVD设备的石墨电极结构包括：电极片组和石英管，电极片组放置于石英管内；其中，电极片组包括多个交替堆叠排布的高频电极片和接地电极片；高频电极片和接地电极片的总数为单数，且电极片组的两侧设置为接地电极片，由于位于两侧的石墨电极都是接地电极，接地电极的电位与石英管的电位相同，两者之间不会产生电场，因此，不会影响电池片表面镀层的均匀性，换言之，由于位于两侧石墨电极都是接地电极，可以避免高频电极与石英管之间产生电场导致的电场均匀性较差的问题，进一步的，提高电池面表面镀层的均匀性。
本实用新型一种PECVD设备的石墨电极结构和PECVD设备在权利要求书中公布了：1.一种PECVD设备的石墨电极结构，其特征在于，包括：电极片组和石英管，所述电极片组放置于所述石英管内；其中，所述电极片组包括多个交替堆叠排布的高频电极片和接地电极片；所述高频电极片和所述接地电极片的总数为单数，且所述电极片组的两侧设置为所述接地电极片。
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