恭喜山东大学康文兵获国家专利权
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龙图腾网恭喜山东大学申请的专利一种具有双功能的光敏聚酰亚胺前体材料及其制备方法与在光刻中的应用获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115947940B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-01-07发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310032482.8,技术领域涉及:C08G73/10;该发明授权一种具有双功能的光敏聚酰亚胺前体材料及其制备方法与在光刻中的应用是由康文兵;闫正;王海花;陈欢;孔慧停设计研发完成,并于2023-01-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种具有双功能的光敏聚酰亚胺前体材料及其制备方法与在光刻中的应用在说明书摘要公布了:本发明提供了一种具有双功能的光敏聚酰亚胺前体材料及其制备方法与在光刻中的应用。本发明的具有双功能的光敏聚酰亚胺前体材料,是通过二胺与二酐聚合得到前驱体PAA聚合物,然后与具有疏水且可交联基团的化和物酯化反应得到。本发明的聚酰亚胺材料可以用于正性光刻胶和负性光刻胶,将其与不同的光敏剂、添加剂等进行混合进行涂膜、显影、曝光,得到分辨率良好的图案化聚酰亚胺薄膜。
本发明授权一种具有双功能的光敏聚酰亚胺前体材料及其制备方法与在光刻中的应用在权利要求书中公布了:1.一种具有双功能的光敏聚酰亚胺前体材料,其特征在于,该光敏聚酰亚胺前体材料是由二胺和二酐经聚合得到前驱体PAA聚合物,然后再与具有疏水且可交联基团的化合物进行酯化反应所得;所述二胺为2,2-双3-氨基-4-羟基苯基六氟丙烷、2,2-双3-氨基-4-羟基苯基丙烷;所述二酐为3,3',4,4'-联苯四甲酸二酐;所述具有疏水且可交联基团的化合物为丙烯酰氯、丙烯酸叔丁酯、甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸缩水甘油酯、甲基丙烯酰氯或对羟基苯乙烯;所述具有疏水且可交联基团的化合物与二胺的摩尔比为0.2~0.5:1。
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