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龙图腾网恭喜深圳市鹏乐智能系统有限公司申请的专利一种晶圆检测大理石检测平台获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222299504U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-01-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420823620.4，技术领域涉及：G01N21/88；该实用新型一种晶圆检测大理石检测平台是由古乐野设计研发完成，并于2024-04-19向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆检测大理石检测平台在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种晶圆检测大理石检测平台，包括大理石主平台、包括大理石靠板、X轴部件、Y轴部件、Z轴部件，本实用新型的检测平台由高平面度的大理石作为基底，相比于传统采用框架式机架做基底的，可确保后续安装和多轴设备运行时的一个平整度以及提供大重量底座，可确保上端设备运作时不容易晃动，不会震动；本检测平台X、Y轴由高精度直线电机、高精度导轨组成，使X、Y运行平稳，且运动精度与重复精度高，定位精度达±1μm；检测平台X、Y轴配备高精度光栅尺位移传感器，定位精度±1μm；检测平台底部安装橡胶减震垫，减少机台的整体抖动，使机台运动结构平稳运行。

本实用新型一种晶圆检测大理石检测平台在权利要求书中公布了：1.一种晶圆检测大理石检测平台，其特征是，包括：大理石主平台，所述大理石主平台上下两面水平设置，且其上端形成X轴和Y轴部件安装平面；大理石靠板，所述大理石靠板垂直式安装在大理石主平台的内侧，其下端凹陷形成让位槽、上端形成Z轴部件安装平面；X轴部件，其包括多组平行设置的X轴滑轨和X轴滑块，位于中间的两组X轴滑轨之间设有X轴直线电机；Y轴部件，其包括Y轴滑板、Y轴滑轨、Y轴滑块以及负压检测载台，其中Y轴滑板固定连接在X轴滑块的上方，所述Y轴滑轨设置在Y轴滑板的上方，所述负压检测载台通过Y轴滑块与Y轴滑轨配合滑动；其中负压检测载台用于安装待检单元，负压检测载台与Y轴滑板之间设置有Y轴直线电机；Z轴部件，其包括Z轴底座、Z轴滑轨、Z轴滑块、检测座板、Z轴驱动单元，所述Z轴底座安装在大理石靠板的上端，Z轴滑轨设置在Z轴底座上，所述检测座板通过Z轴滑块与Z轴滑轨滑动配合；其中检测座板用于安装检测单元，所述Z轴驱动单元用于驱动检测座板相对于Z轴底座滑动。

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