恭喜台湾积体电路制造股份有限公司林政锜获国家专利权
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龙图腾网恭喜台湾积体电路制造股份有限公司申请的专利化学机械抛光装置及用于化学机械抛光装置的固定环获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222289771U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-01-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421062957.4，技术领域涉及：B24B37/00；该实用新型化学机械抛光装置及用于化学机械抛光装置的固定环是由林政锜;沈稘翔;侯德谦;张棠贵;刘啟人;黃惠琪;陈科维设计研发完成，并于2024-05-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本化学机械抛光装置及用于化学机械抛光装置的固定环在说明书摘要公布了：提供化学机械抛光装置以及用于化学机械抛光装置的固定环。化学机械抛光装置包括抛光垫；抛光头，配置以接收晶圆并将晶圆保持在抛光垫上；及固定环，配置以与抛光头接合，其中固定环形成有多个通道，通道配置以使浆料沿流动方向从固定环的外部流至固定环的内部，其中通道的流动截面积沿流动方向减小。
本实用新型化学机械抛光装置及用于化学机械抛光装置的固定环在权利要求书中公布了：1.一种化学机械抛光装置，其特征在于，包括：一抛光垫；一抛光头，配置以接收一晶圆并将该晶圆保持在该抛光垫上；及一固定环，配置以与该抛光头接合，其中该固定环形成有多个通道，所述多个通道配置以使一浆料沿一流动方向从该固定环的外部流至该固定环的内部，其中所述多个通道的一流动截面积沿该流动方向减小。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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