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恭喜嘉兴睿创新材料有限公司;浙江航引新材料科技有限公司王震获国家专利权

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龙图腾网恭喜嘉兴睿创新材料有限公司;浙江航引新材料科技有限公司申请的专利一种等离子腔室用的加热台获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN221988663U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2024-11-12发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421120387.X,技术领域涉及:C23C16/46;该实用新型一种等离子腔室用的加热台是由王震;吴斌;曾彬;夏丹丽设计研发完成,并于2024-05-22向国家知识产权局提交的专利申请。

一种等离子腔室用的加热台在说明书摘要公布了:一种等离子腔室用的加热台,其特征在于:挡板、加热台、凹槽结构、推进器、推手、横梁;加热台内有加热线圈且有凹槽结构凹槽结构与载板背板的加强筋纹路一致;加热台两侧有推进器调整载板左右方向的位置;加热台入口处设置横梁,横梁可以上下活动,横梁上安装有推手,可以将载板推进至指定位置。

本实用新型一种等离子腔室用的加热台在权利要求书中公布了:1.一种等离子腔室用的加热台,其特征在于:挡板(1)、加热台(2)、凹槽结构(3)、推进器(4)、推手(5)、横梁(6)。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人嘉兴睿创新材料有限公司;浙江航引新材料科技有限公司,其通讯地址为:314500 浙江省嘉兴市桐乡市崇福镇南阳先导区智能产业园4幢;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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