恭喜松下知识产权经营株式会社领木直矢获国家专利权
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龙图腾网恭喜松下知识产权经营株式会社申请的专利RAMO4基板及其制造方法、以及III族氮化物半导体获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN111286781B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2024-11-12发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:201911239070.1,技术领域涉及:C30B25/18;该发明授权RAMO4基板及其制造方法、以及III族氮化物半导体是由领木直矢;宫野谦太郎;信冈政树;石桥明彦设计研发完成,并于2019-12-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本RAMO4基板及其制造方法、以及III族氮化物半导体在说明书摘要公布了:本发明涉及RAMO4基板及其制造方法、以及III族氮化物半导体。本发明提供一种在形成III族氮化物结晶时或其制作后难以破裂的RAMO4基板。制成下述RAMO4基板,其包含通式RAMO4所示的单晶体通式中,R表示选自Sc、In、Y和镧系元素中的一种或多种三价元素,A表示选自FeIII、Ga和Al中的一种或多种三价元素,M表示选自Mg、Mn、FeII、Co、Cu、Zn和Cd中的一种或多种二价元素,在通过上述RAMO4基板中心的直线上测定多个位置Xi的X射线峰位置ωi时,由该ωi和测定位置Xi算出的结晶面的曲率半径r的绝对值为52m以上,该ω与测定位置Xi的相关系数ρ的平方为0.81以上。
本发明授权RAMO4基板及其制造方法、以及III族氮化物半导体在权利要求书中公布了:1.一种RAMO4基板,其包含通式RAMO4所示的单晶体,通式中,R表示选自Sc、In、Y和镧系元素中的一种或多种三价元素,A表示选自FeIII、Ga和Al中的一种或多种三价元素,M表示选自Mg、Mn、FeII、Co、Cu、Zn和Cd中的一种或多种二价元素,在通过所述RAMO4基板中心的直线上的多个位置Xi处测定X射线摇摆曲线,确定各位置Xi处的X射线摇摆曲线的衍射光谱的X射线峰位置ωi,其中,i=1,2,3,…,n,基于由X射线峰位置ωi与位置Xi的关系得到的回归直线,算出结晶面的曲率半径r的绝对值,进而,基于X射线峰位置ωi与位置Xi,算出通过下述式算出的相关系数ρ的平方时, 表示ωi的平均值,表示Xi的平均值,n表示测定位置的数量,所述曲率半径r为52m以上,且所述相关系数ρ的平方为0.81以上,用ω=aX+b表示所述回归直线时,a和b用下述式表示, 表示ωi的平均值,表示Xi的平均值;所述曲率半径r用下述式表示,
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