恭喜东莞市日月辉科技有限公司袁黔云获国家专利权
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龙图腾网恭喜东莞市日月辉科技有限公司申请的专利镂空式清洗花篮获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN221977881U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2024-11-08发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202323646233.2,技术领域涉及:H01L21/673;该实用新型镂空式清洗花篮是由袁黔云设计研发完成,并于2023-12-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本镂空式清洗花篮在说明书摘要公布了:本实用新型涉及半导体清洗装置技术领域,且公开了镂空式清洗花篮,包括清洗花篮主体,清洗花篮主体的顶部设有限位结构和支撑结构,限位结构包括第一横板、第一竖板、挡板、滑块、弹簧、导向杆和限位杆,第一横板的两端均设有第一竖板,两个第一竖板下表面均设有挡板,两个挡板的一侧均设有滑块,第一横板的上表面设有导向杆,导向杆固定为两个且对称设置,支撑结构包括第二横板、第二竖板和连接杆,第二横板的两端均设有第二竖板,两个第二竖板的下表面均设有连接杆。本实用新型通过限位结构与支撑结构的配合使用,可以对清洗花篮主体内部的晶圆块进行限位固定,避免晶圆在清洗的过程中从清洗花篮主体的内部滑出。
本实用新型镂空式清洗花篮在权利要求书中公布了:1.镂空式清洗花篮,包括清洗花篮主体1,其特征在于:所述清洗花篮主体1的顶部设有限位结构2和支撑结构3;所述限位结构2包括第一横板201、第一竖板202、挡板203、滑块204、弹簧205、导向杆206和限位杆207,所述第一横板201的两端均设有第一竖板202,两个所述第一竖板202下表面均设有挡板203,两个所述挡板203的一侧均设有滑块204,所述第一横板201的上表面设有导向杆206,所述导向杆206固定为两个且对称设置,两个所述导向杆206的外表面均套设有弹簧205,两个所述挡板203之间设有若干个限位杆207;所述支撑结构3包括第二横板301、第二竖板302和连接杆303,所述第二横板301的两端均设有第二竖板302,两个所述第二竖板302的下表面均设有连接杆303。
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