恭喜天津安联信科技有限公司申文娟获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便!
龙图腾网恭喜天津安联信科技有限公司申请的专利一种半导体加工用抛光装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN221967699U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2024-11-08发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202323466575.6,技术领域涉及:B24B29/02;该实用新型一种半导体加工用抛光装置是由申文娟;朱文妹;侯志勇设计研发完成,并于2023-12-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体加工用抛光装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种半导体加工用抛光装置,包括抛光箱、半导体固定架、抛光组件、储液罐、吸尘箱和安装板,所述抛光箱底部设有导向斜板,所述抛光箱一侧设有排污阀,所述抛光箱前后两端分别设有防护门,所述防护门上设有观察窗,所述半导体固定架设于抛光箱两内侧壁中部,所述安装板滑动设于抛光箱内且位于半导体固定架上方,所述抛光箱上顶壁中部设有液压缸,所述液压缸的输出轴贯穿抛光箱与安装板上中部连接,所述抛光组件设于安装板下端且位于半导体固定架上方,所述储液罐设于抛光箱上顶部一侧,所述吸尘箱对称设于抛光箱两侧。本实用新型涉及半导体加工设备技术领域,具体为一种除尘效果好的,能够批量加工的半导体加工用抛光装置。
本实用新型一种半导体加工用抛光装置在权利要求书中公布了:1.一种半导体加工用抛光装置,包括抛光箱和半导体固定架,其特征在于:还包括抛光组件、储液罐、吸尘箱和安装板,所述半导体固定架设于抛光箱两内侧壁中部,所述安装板滑动设于抛光箱内且位于半导体固定架上方,所述抛光箱上顶壁中部设有液压缸,所述液压缸的输出轴贯穿抛光箱与安装板上中部连接,所述抛光组件设于安装板下端且位于半导体固定架上方,所述储液罐设于抛光箱上顶部一侧,所述吸尘箱对称设于抛光箱两侧:所述抛光组件包括伺服电机、丝杠、轴承座、螺纹座和半导体抛光机,所述伺服电机和轴承座分别对称设于安装板下底壁两端,所述丝杠一端转动设于轴承座上,所述丝杠另一端与伺服电机的输出轴连接,所述螺纹座螺纹连接于丝杠上,所述螺纹座上端与安装板下底壁滑动接触,所述半导体抛光机设于螺纹座上。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人天津安联信科技有限公司,其通讯地址为:300000 天津市河西区尖山路102号美联大厦610;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。