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龙图腾网恭喜曾泽斌申请的专利一种碳化硅外延衬底片精密装片装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN221960954U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2024-11-05发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420747558.5，技术领域涉及：H01L21/677；该实用新型一种碳化硅外延衬底片精密装片装置是由曾泽斌设计研发完成，并于2024-04-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种碳化硅外延衬底片精密装片装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种碳化硅外延衬底片精密装片装置。装置包括立柱、吸片盘升降装置、水平横梁、摄像头、承载环座、X方向位移平台、Y方向位移平台；立柱用于支撑水平横梁；水平横梁用于安装吸片盘升降装置和摄像头，吸片盘升降装置用于升降吸片盘；X方向位移平台、Y方向位移平台用于移动和安放承载环座，承载环座上安放承载环；X方向位移平台设有X方向位移电机；Y方向位移平台设有Y方向位移电机；摄像头用于拍摄衬底片边沿、承载环边沿的照片，计算机根据衬底片边沿与承载环边沿的距离，控制X方向位移平台、Y方向位移平台的移动。本实用新型可以实现半自动或手动将将碳化硅衬底片抛光正面朝下准确安放在承载环上，装片过程中用于外延生长的抛光正面不与任何外物接触。

本实用新型一种碳化硅外延衬底片精密装片装置在权利要求书中公布了：1.一种碳化硅外延衬底片精密装片装置，其特征在于，包括立柱、吸片盘升降装置、水平横梁、摄像头、承载环座、X方向位移平台、Y方向位移平台；立柱用于支撑水平横梁；水平横梁用于安装吸片盘升降装置和摄像头，吸片盘升降装置用于升降吸片盘；X方向位移平台、Y方向位移平台用于移动和安放承载环座，承载环座上安放承载环；X方向位移平台设有X方向位移电机；Y方向位移平台设有Y方向位移电机；摄像头用于拍摄衬底片边沿、承载环边沿的照片，计算机根据衬底片边沿与承载环边沿的距离，控制X方向位移平台、Y方向位移平台的移动。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人曾泽斌，其通讯地址为：310013 浙江省杭州市西湖区灵隐街道求是村67栋1单元702室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。