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恭喜宁夏旭樱新能源科技有限公司吴学军获国家专利权

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龙图腾网恭喜宁夏旭樱新能源科技有限公司申请的专利应用节能型热场的单晶炉获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN108085741B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2024-10-01发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:201810092243.0,技术领域涉及:C30B15/00;该发明授权应用节能型热场的单晶炉是由吴学军设计研发完成,并于2018-01-30向国家知识产权局提交的专利申请。

应用节能型热场的单晶炉在说明书摘要公布了:一种应用节能型热场的单晶炉,包括二层平台、设置在二层平台上方的炉体、设置在二层平台下方的驱动部件、坩埚位置标识装置,炉体包括外炉筒和设置在内部的热场,热场包括坩埚、安装座、加热器、热屏组件、保温层,所述热场还包括中排气组件,在下炉筒的侧壁上对称设置第一排气套和第二排气套,中排气组件包括第一排气管、第二排气管、排气环,第一排气管、第二排气管对称设置在加热器的两侧,第一排气管的上端与排气环连接,第二排气管的上端与排气环连接,排气环包括内侧环壁、外侧环壁、环底,本发明通过中排气组件的设置,将与热场气氛直接连接的进气口设置在热场中上部,如此,不仅解决了因排气带走热量的问题,也不存在挥发物堵塞排气管的问题。

本发明授权应用节能型热场的单晶炉在权利要求书中公布了:1.一种应用节能型热场的单晶炉,其特征在于:包括二层平台、设置在二层平台上方的炉体、设置在二层平台下方的驱动部件、坩埚位置标识装置,炉体包括外炉筒和设置在内部的热场,外炉筒包括从上向下依次安装连接的炉盖、中炉筒和下炉筒,下炉筒安装在二层平台上,热场包括坩埚、安装座、加热器、热屏组件、保温层,安装座设置在下炉筒内,以安装坩埚,坩埚设置在中炉筒内,加热器包围设置在坩埚的周围,以对坩埚内的物料进行加热化料,热屏组件设置在坩埚的上方,在热屏组件中间设置晶棒通道,保温层包括从上向下依次设置的上保温层、中保温层、下保温层,上保温层设置在热屏组件与中炉筒之间,中保温层设置在加热器与中炉筒之间,下保温层设置在安装座与下炉筒之间,驱动部件的上端穿过下炉筒的底部,以与安装座连接,进而驱动坩埚旋转和升降,所述热场还包括中排气组件,在下炉筒的侧壁上对称设置第一排气套和第二排气套,第一排气套的一端及第二排气套的一端外漏在下炉筒外部,用于与外部抽气机构连接,第一排气套的另一端及第二排气套的另一端穿过下炉筒及保温层,以与中排气组件连通,中排气组件包括第一排气管、第二排气管、排气环,第一排气管、第二排气管对称设置在加热器的两侧,第一排气管、第二排气管靠近保温层设置,第一排气管、第二排气管均为竖直设置的空心直管,第一排气管的下端与第一排气套连通,第一排气管的上端与排气环连接,第二排气管的下端与第二排气套连通,第二排气管的上端与排气环连接,排气环为一圆环,排气环设置在坩埚及加热器的上方的热场内,排气环包括内侧环壁、外侧环壁、环底,内侧环壁、外侧环壁为同心圆,环底连接在内侧环壁、外侧环壁之间,以形成U型环槽,还在内侧环壁、外侧环壁上分别开设进气口和出气口,出气口与第一排气管、第二排气管的上端连通,进气口与内侧环壁内侧的热场连通,以从坩埚口部上方的热场内排出气体,排气环设置为U型环槽,在外部抽气时,热场内的气体从进气口进入U型环槽内,经过外侧环壁的阻挡,再由出气口排出,这样气体中携带夹杂的挥发物或杂质遇到外侧环壁的阻挡后容易粘附或沉积在U型环槽内,便于挥发物的集中收集,而不会进入排气管及外部系统,这使得挥发物导向性的收集,减少粘附于热场其他部件上的几率,在清理炉体时,只需将U型环槽内的物质清理回收,由于挥发物中多数是碳质和硅,还有利于这些物质的回收利用,提高利用率;所述坩埚位置标识装置设置在二层平台的下方,坩埚位置标识装置包括下限位机构和上限位机构,设置在二层平台下方的驱动部件包括升降电机、减速器、丝杠、导套,升降电机通过减速器与丝杠连接,以驱动丝杠转动,丝杠与导套螺纹传动连接,导套的上端与安装座连接,以驱动坩埚升降,下限位机构固定设置在驱动部件下方的二层平台的机架上,以对导套的下降的最低位置进行限位,上限位机构设置在驱动部件上方的二层平台的机架上,以对导套的下降的最高位置进行限位;其中,所述上限位机构包括连接板、标尺、第一导向件、第二导向件、指针、配重,连接板沿着水平方向与导套固定连接,以与导套同步升降,标尺为一柔性细长标尺,标尺的一端与连接板固定连接,标尺的另一端与配重连接,第一导向件、第二导向件与二层平台的机架固定连接,指针设置在第一导向件和第二导向件之间,且指针与二层平台的机架固定连接,标尺的中间部分搭接在第一导向件和第二导向件上,标尺上设置刻度标识,以与指针配合显示导套及坩埚上升的位置;还在二层平台的台面上开设观察窗口,观察窗口为长方形孔,观察窗口的开口长度大于开口宽度,指针的一端与机架固定连接,指针的另一端为尖锐端部,指针的尖锐端部靠近标尺的标识设置,以准确显示标识的位置。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人宁夏旭樱新能源科技有限公司,其通讯地址为:753000 宁夏回族自治区石嘴山市大武口区欣盛路16号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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