恭喜广东利元亨智能装备股份有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网恭喜广东利元亨智能装备股份有限公司申请的专利一种载板及工艺腔获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN221777991U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2024-09-27发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202322932953.9,技术领域涉及:C23C16/458;该实用新型一种载板及工艺腔是由请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成,并于2023-10-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种载板及工艺腔在说明书摘要公布了:本实用新型涉及一种载板及工艺腔,其中载板包括框架、基板、以及圆形托盘,所述基板与所述框架层叠设置,所述基板设有圆形装配位,所述框架对应所述圆形装配位设有通孔,所述圆形托盘可分离地设于所述圆形装配位。本实用新型的圆形托盘可相对于基板转动,使得载板进入工艺腔后,圆形托盘可转动进行镀膜,使镀膜边缘更加均匀,提升镀膜质量。
本实用新型一种载板及工艺腔在权利要求书中公布了:1.一种载板,其特征在于,包括框架、基板、以及圆形托盘,所述基板与所述框架层叠设置,所述基板设有圆形装配位,所述框架对应所述圆形装配位设有通孔,所述圆形托盘可分离地设于所述圆形装配位。
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