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龙图腾网恭喜信利(惠州)智能显示有限公司申请的专利一种提高靶材利用率的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115558898B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2024-09-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211182164.1，技术领域涉及：C23C14/35；该发明授权一种提高靶材利用率的方法是由张依腾;郑风云;杨文胜;何海山;李伟界设计研发完成，并于2022-09-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种提高靶材利用率的方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种提高靶材利用率的方法，所述方法包括提供带有PLC程序控制的磁控溅射装置，所述磁控溅射装置包括被成膜基板、与所述被成膜基板相对设置的靶材、设置在所述靶材远离所述被成膜基板一侧的磁铁、分别位于所述磁铁左右两端用于识别所述磁铁位置的一组第一感应器，所述第一感应器之间的距离为a，所述磁铁在所述第一感应器之间做左右复往运动，所述方法还包括沿着所述第一感应器方向上在所述第一感应器之间设置有第二感应器，所述第二感应器之间的距离b满足：0.88a≤ba，所述磁铁按照在所述第一感应器之间做左右复往运动、在所述第二感应器之间做左右复往运动的顺序依次循环。

本发明授权一种提高靶材利用率的方法在权利要求书中公布了：1.一种提高靶材利用率的方法，所述方法包括提供带有PLC程序控制的磁控溅射装置，所述磁控溅射装置包括被成膜基板、与所述被成膜基板相对设置的靶材、设置在所述靶材远离所述被成膜基板一侧的磁铁、分别位于所述磁铁左右两侧用于识别所述磁铁位置的一组第一感应器，所述第一感应器之间的距离为a，所述磁铁在所述第一感应器之间做左右复往运动，其特征在于，所述方法还包括沿着所述第一感应器方向上在所述第一感应器之间设置有第二感应器，所述第二感应器之间的距离b满足：0.88a≤ba，所述磁铁按照在所述第一感应器之间做左右复往运动、在所述第二感应器之间做左右复往运动的顺序依次循环，所述0.88a的值不小于所述被成膜基板的宽度。

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