恭喜株式会社日本显示器山田哲行获国家专利权
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龙图腾网恭喜株式会社日本显示器申请的专利蒸镀掩模的制造方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114517282B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2024-09-13发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202111312278.9,技术领域涉及:C23C14/04;该发明授权蒸镀掩模的制造方法是由山田哲行;松本优子设计研发完成,并于2021-11-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本蒸镀掩模的制造方法在说明书摘要公布了:本发明提供一种制造可靠性高的蒸镀掩模的方法。本发明的蒸镀掩模的制造方法包括:对具有开口部的框主体的第1面,以覆盖所述开口部的方式粘接第1粘接层的步骤;沿着平面视时的所述框主体的至少内缘,有选择地对与所述框主体重叠的所述第1粘接层的一部分进行曝光的步骤;在曝光后的第1粘接层上粘接第1基板的步骤;和将所述框主体作为掩模来对所述第1粘接层的一部分进行显影的步骤。
本发明授权蒸镀掩模的制造方法在权利要求书中公布了:1.一种蒸镀掩模的制造方法,其特征在于,包含:对具有开口部的框主体的第1面,以覆盖所述开口部的方式粘接第1粘接层的步骤;沿着平面视时的所述框主体的至少内缘,有选择地对与所述框主体重叠的所述第1粘接层的一部分进行曝光的步骤;在曝光后的第1粘接层上粘接第1基板的步骤;和将所述框主体作为掩模来对所述第1粘接层的一部分进行显影的步骤,在对所述框主体的第1面粘接所述第1粘接层之前,包含以下步骤,即:对所述框主体的与所述第1面相反一侧的第2面,以覆盖所述开口部的方式经由第2粘接层粘接第2基板的步骤;将所述框主体作为掩模来对所述第2粘接层的一部分进行显影的步骤;和在除去所述第2基板之后对所述第2粘接层进行曝光的步骤。
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