恭喜星钥(珠海)半导体有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网恭喜星钥(珠海)半导体有限公司申请的专利一种卡盘结构及晶圆清洗单元获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN221687515U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2024-09-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420119444.6，技术领域涉及：H01L21/687；该实用新型一种卡盘结构及晶圆清洗单元是由请求不公布姓名设计研发完成，并于2024-01-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种卡盘结构及晶圆清洗单元在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种卡盘结构及晶圆清洗单元，应用于晶圆清洗技术领域，包括：卡盘；所述卡盘上设置有至少两种不同尺寸的卡盘定位槽；所述卡盘定位槽包围区域的轮廓与晶圆的轮廓对应，以将所述晶圆固定在所述卡盘定位槽内；所述卡盘定位槽上沿平行于所述卡盘方向设置有吹气孔，用于连通氮气输出装置。本实用新型采用的卡盘结构在卡盘上设置有至少两种不同尺寸的卡盘定位槽，一方面可承载至少两种不同尺寸的晶圆，另一方面能固定晶圆的位置，可以有效地对晶圆进行全方位固定，从而避免在清洗和甩干过程中，由于晶圆和卡盘不同心或真空压力不稳定导致的滑片和碎片问题；同时，卡盘定位槽还增加了吹扫烘干功能，可以显著提高晶圆的烘干效率。
本实用新型一种卡盘结构及晶圆清洗单元在权利要求书中公布了：1.一种卡盘结构，其特征在于，包括：卡盘；所述卡盘上设置有至少两种不同尺寸的卡盘定位槽；所述卡盘定位槽包围区域的轮廓与晶圆的轮廓对应，以将所述晶圆固定在所述卡盘定位槽内；所述卡盘定位槽上沿平行于所述卡盘方向设置有吹气孔，用于连通氮气输出装置。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人星钥(珠海)半导体有限公司，其通讯地址为：519085 广东省珠海市高新区唐家湾镇湾创路58号5层505室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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