恭喜山东浪潮华光光电子股份有限公司蒋策获国家专利权
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龙图腾网恭喜山东浪潮华光光电子股份有限公司申请的专利一种晶圆切割刀片缺陷检测装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN221677677U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2024-09-10发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202420048846.1,技术领域涉及:B28D5/02;该实用新型一种晶圆切割刀片缺陷检测装置是由蒋策设计研发完成,并于2024-01-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆切割刀片缺陷检测装置在说明书摘要公布了:本实用新型涉及切割刀片缺陷检测技术领域,具体公开一种晶圆切割刀片缺陷检测装置。所述检测装置包括:对称设置在竖向的待测切割刀片两侧的第一安装架、第二安装架。每个所述安装架的面向切割刀片的面上均固定有轴向光源、左侧光源、右侧光源和感光区域。其中:所述轴向光源设置在安装架的中部,所述左侧光源、右侧光源分别对称设置在轴向光源的左侧和右侧。所述轴向光源和左侧光源之间、轴向光源和右侧光源之间均设置有所述感光区域,且所述轴向光源、左侧光源、右侧光源的波长各不相同。本实用新型的上述检测装置能够在切割工序中实时监测切割刀片的破损情况,及时发现存在破损的刀片,以进行更换,保证优品率。
本实用新型一种晶圆切割刀片缺陷检测装置在权利要求书中公布了:1.一种晶圆切割刀片缺陷检测装置,其特征在于,包括:对称设置在竖向的待测切割刀片两侧的第一安装架、第二安装架;每个所述安装架的面向切割刀片的面上均固定有轴向光源、左侧光源、右侧光源和感光区域;其中:所述轴向光源设置在安装架的中部,所述左侧光源、右侧光源分别对称设置在轴向光源的左侧和右侧;所述轴向光源和左侧光源之间、轴向光源和右侧光源之间均设置有所述感光区域,且所述轴向光源、左侧光源、右侧光源的波长各不相同。
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