买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网恭喜星钥(珠海)半导体有限公司申请的专利一种用于晶圆键合的卡盘支撑装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN221687510U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2024-09-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420100830.0，技术领域涉及：H01L21/683；该实用新型一种用于晶圆键合的卡盘支撑装置是由请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成，并于2024-01-15向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于晶圆键合的卡盘支撑装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种用于晶圆键合的卡盘支撑装置，包括用于承载晶圆的卡盘；用于支撑卡盘的支撑基座；悬浮组件，用于在卡盘和支撑基座之间产生支撑卡盘悬浮于支撑基座的上方的悬浮作用力；磁性组件，用于在卡盘和支撑基座之间产生磁场作用力，以驱动卡盘在支撑基座上方沿设定方向移动，并限制卡盘在水平方向上沿垂直于设定方向移动。本申请的卡盘支撑装置通过悬浮组件将卡盘悬浮于支撑基座的正上方的基础上，利用磁性组件所产生的磁场力驱动悬浮的卡盘沿设定方向移动，并限定卡盘垂直于设定方向移动，从而在一定程度上保证卡盘移动过程中的稳定性，进而保证晶圆的安全性。

本实用新型一种用于晶圆键合的卡盘支撑装置在权利要求书中公布了：1.一种用于晶圆键合的卡盘支撑装置，其特征在于，包括：用于承载晶圆的卡盘；用于支撑所述卡盘的支撑基座；设置在所述卡盘和所述支撑基座上的悬浮组件，用于在所述卡盘和所述支撑基座之间产生支撑所述卡盘悬浮于所述支撑基座的上方的悬浮作用力；设置在所述卡盘和所述支撑基座上的磁性组件，用于在所述卡盘和所述支撑基座之间产生磁场作用力，以驱动所述卡盘在所述支撑基座上方沿设定方向移动，并限制所述卡盘相对于所述支撑基座在水平方向上沿垂直于所述设定方向移动。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人星钥(珠海)半导体有限公司，其通讯地址为：519085 广东省珠海市高新区唐家湾镇湾创路58号5层505室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。