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龙图腾网恭喜无锡卓海科技股份有限公司申请的专利两次反射式晶圆定位检测装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN221651445U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2024-09-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420181408.2，技术领域涉及：H01L21/66；该实用新型两次反射式晶圆定位检测装置是由孔彬;相宇阳;戴金方;耿晓杨设计研发完成，并于2024-01-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本两次反射式晶圆定位检测装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体制造检测设备技术领域，公开一种两次反射式晶圆定位检测装置，包括传感器支架、发射传感器、接收传感器、第一棱镜和第二棱镜。在传感器支架上同侧间隔设置的发射传感器与接收传感器分别能发射和收集光电信号，在同一水平高度相对设置的第一棱镜和第二棱镜分别设置在发射传感器和接收传感器的下方。发射传感器向第一棱镜发出光电信号，然后借助依次通过第一棱镜和第二棱镜以改变光电信号的方向，可最终反射至接收传感器接受光电信号。结构简单，有效节省晶圆定位检测装置所需的安装空间，减小半导体制造检测设备内部的空间占用，扩大对于不同规格类型的晶圆的适用范围，提高半导体制造检测设备的整体性能。

本实用新型两次反射式晶圆定位检测装置在权利要求书中公布了：1.两次反射式晶圆定位检测装置，其特征在于，包括：传感器支架1；发射传感器2，所述发射传感器2与所述传感器支架1连接，所述发射传感器2能发射光电信号；接收传感器3，所述接收传感器3与所述传感器支架1连接，所述接收传感器3能收集所述光电信号，所述发射传感器2与所述接收传感器3间隔预设距离设置；第一棱镜4，所述第一棱镜4与所述传感器支架1连接，所述第一棱镜4设置在所述发射传感器2的下方；第二棱镜5，所述第二棱镜5与所述传感器支架1连接，所述第二棱镜5设置在所述接收传感器3的下方，所述第一棱镜4与所述第二棱镜5相对设置在同一水平高度；所述发射传感器2向所述第一棱镜4发出所述光电信号，所述光电信号通过所述第一棱镜4反射至所述第二棱镜5，所述光电信号通过所述第二棱镜5反射至所述接收传感器3。

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